12英寸近距离旋转蒸发镀膜炉
型号:
RTP-II-CSS-300(内部名称:双温区管式炉 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300
产品概述:
RTP-Ⅱ-CSS-300是一款12英寸近距离旋转蒸发镀膜炉,其炉腔体是Φ500mm的高真空不锈钢腔体,此款设备可用于蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,氧化物、半导体、或者太阳能基片退火实验,其载样台尺寸Ф300,顶部载样台可以旋转提高镀膜均匀度。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),最大升温速率为20?/S
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
名称型号

12英寸近距离旋转蒸发镀膜炉 RTP-Ⅱ-CSS-300

产品特点

· 载样台最大尺寸Ф300

· 上端载样台可以旋转和上下移动

· 采用分子泵,炉腔体真空度可达10-3Pa


加热炉系统

· 输入电源 AC 三相380V 50/60HZ,最大功率:64KW

· 最高工作温度:950℃(<30min),长期工作温度:900℃

· 热电偶两根:两根K型热电偶,一根用于测控上加热台,一根用于测控下加热台     

· 加热元件:红外灯管

· 可以载样品最大尺寸:Ф300mm

· 推荐升温速率:10℃/S


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温度控制

· 包含一款EPC300系列欧陆温度控制器

· PID自动控温系统

· 智能化30段可编程控制                                             

· 默认DB9 PC通讯连接端口

· 控温精度:±0.1℃(最高可达)

  所有的电气元件都通过UL或MET认可,并可通过世界范围内的其他相关安全测试

·可选购电脑温度控制软件用于控制升温曲线和导出数据;


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加热炉腔体

·炉腔体尺寸:内径500mm*高460mm

·炉腔体密封:密封采用O型圈+法兰压紧密封    

·观察窗口:炉腔体上留有直径60mm石英观察窗口

·炉腔体连接有磁耦合真空推送器,推送器前端连接有氮化铝挡板,在高真空状态下或气氛下可以对蒸镀源进行遮挡。

·炉腔体另一侧连接有高真空电动插板阀+机械泵+分子泵                          

·炉腔体真空度:最高可达10-3Pa                                          


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不锈钢密封法兰系统+加热平台

·不锈钢密封法兰,法兰和加热炉腔之间采用硅胶O型圈压紧方式密封。

·上法兰开启和关闭才用电动方式,由两个同步升降立柱执行,用PC机进行控制

·上法兰装有机械压力表和数显真空计,留有G1/4出气口,KF25真空电极接口

·上法兰连接有压缩波纹管上加热台可以在真空或气氛下上下移动,调节上下加热台距离,调节上下加热区的温差,上加热台移动移动范围:0-25mm

·上法兰连接有磁流体+电滑环+水滑环进行动密封,上加热台通过步进电机进行旋转,旋转速度可调范围:1-10r/min

·下法兰留有KF25真空电极接口和G1/4进气口

·上下加热平台采用圆形需要水冷,两组红外灯管在加热平台内呈井字型排列,使加热温场更加均匀。

·样品支架分别安装在上下加热台上。


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控制系统

·控制系统采用PC机+PLC控制

·可以设定上加热台旋转速度和移动距离,电动开启关闭上法兰。

·可以设定升温曲线(升温,恒温,降温)

·通过PC机可以控制机械泵和分子泵,并显示分子泵转速

·可自动显示记录,温度,真空度,流量,等参数曲线

·可存储10条自定义配方工艺随时调用。

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真空系统(选配)

· 配套机械泵,真空度可以达到10-2 ttor

· 配套分子泵,真空度可以达到10-5 ttor


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水冷机(选配)

· 型号:CW-6300

· 工作电压:AC 220V 50HZ

· 工作电流:3.4-21A,制冷量:27808Btu/h

· 压缩机功率:300W,水箱容量:45L

· 最大流量:70-116L/min,净重:165 Kg


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产品尺寸

外形尺寸:1450X1250X2100mm(长*宽*高)

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重量

约640kg


保质期

1年(不包含红外灯管,氟胶O型圈和加热元件等损耗件)



 



使用注意事项

· 石英管内气压不可高于0.02MPa;

· 由于气瓶内部气压较高,所以向石英管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,

为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减

压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全;

· 对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要

关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,

必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

· 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体,如果客户工艺原因确实需要使用

易燃易爆和有毒气体,请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有

毒气体而造成的相关问题,本公司概不负责。


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